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摘要：针对等离子清洗用射频电源阻抗匹配器匹配时间过长的问题，文中提出了一种针对L型匹配网络的自动阻抗匹配解析调谐法。文中根据射频系统中射频VI probe提供的反射系数信息，理论推导了在各种负载下达到阻抗匹配所需的匹配网路参数的计算公式，最后通过控制部分调整可调电容的容值进而实现射频电源系统与真空等离子腔体负载的阻抗匹配。为验证算法的可靠性，文中搭建了Matlab/Simulink仿真对比验证了算法相比于传统智能算法拥有更快的运行速度，仿真结果表明，解析调谐法能在10 ms左右将反射系数的模降至0.01。通过实际上机实验抓取输出电压与输出电流波形，并监测正反向功率和反射系数，13.56MHz射频电源系统在500W输出功率下反射系数的模为0.104，结果表明解析调谐法能很好地应对真空等离子腔体负载阻抗的变化，阻抗匹配效果良好，保证了等离子体的稳定电离，优化了等离子清洗效果。
文章目录
0 引言
1 等离子射频电源自动阻抗匹配系统
2 射频自动阻抗匹配解析调谐法
2.1 Smith圆图与阻抗匹配理论
2.2 等离子清洗工况下的负载阻抗
2.3解析调谐法
3 建模与仿真
4 实验结果
5 结束语
