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柔性光电探测器（PD）阵列能够将光信号高效转换为电信号,展现出在人工视网膜等生物电子领域替代感光功能的重要潜力.然而,在反复弯曲过程中,柔性PD易产生裂纹,导致光电性能退化,限制其实际应用.本研究采用射频磁控溅射结合角离子束抛光,制备出厚度小于10纳米的超薄、超光滑铂电极薄膜作为高稳定性导电基底.基于此,进一步开发了一种动态调控蒸发速率的气相沉积方法,成功构建出具有密度梯度漏斗状的PbI2前驱体薄膜,有效促进CH3NH3I溶液在薄膜中的渗透与转化过程.所得钙钛矿薄膜晶粒大、致密性高、形貌均匀,并与超薄超平整的铂电极形成优异界面耦合.柔性PD器件表现出高达19.48×1012 Jones的探测率、6.87×10～4的开/关电流比,且在经历4000次大角度弯折后仍保持92.53%的初始光电流响应.此外,柔性PD阵列在均匀性和高分辨成像能力方面表现出色,展示出其在高可靠性视觉仿生系统中的广阔应用前景.
