摘要：非晶超导薄膜材料具有超导电性均匀性高以及光响应灵敏度好等优势，是研制大光敏面以及中远红外超导纳米线单光子探测器（SNSPD）的理想超导薄膜材料。本文系统地研究了新型非晶锗化钨超导体的超导物性随薄膜材料厚度的变化，对比硅化钨与锗化钼非晶超导薄膜，研究发现锗化钨合金与硅化钨具有相似的超导物性，包括相近的临界温度和相干长度，稍低的正常态电子扩散系数和较高的磁穿透深度。相较于锗化钼，锗化钨合金与硅化钨的电子扩散系数和磁穿透深度均呈现不同程度的增加。通过研究三种不同非晶薄膜的超导物性参数，为大光敏面、高灵敏度超导纳米线单光子探测器的研发与性能优化提供新的材料选择与实验依据。
文章目录
1 引 言
2 实验
2.1 非晶超导薄膜材料沉积
2.2 电输运测量
3结果与讨论
3.1 正常态-超导态相变与超导临界温度Tc
3.2 超导物理学参数
4 结 论
