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为进一步提升3维结构快闪存储器(3D NAND)架构的性能表现，行业内涌现出一系列水平与垂直微缩设计思路。这些创新设计方案在突破存储密度瓶颈的同时，也带来了新的集成挑战，其中制造过程中的热机械应力影响尤为突出，制约器件生产的良率及性能表现。该文基于局部代表性体积单元(RVE)有限元过程相关建模框架，针对多层堆叠结构及不同区块(Block)架构设计的技术特点，构建了高精度的3D NAND工艺力学模型。通过系统性研究，深入剖析了3D NAND制造过程中不均匀应力产生的根源，并动态监测了不同微缩方案下机械应力水平及分布规律。研究成果对提高良率和器件可靠性具有重要潜在价值，为提升3D NAND存储密度过程中面临的关键难题提供了有效方案。
