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通过真空悬浮熔炼方法设计并制备了5种VCrFeTixTa0.2(x=0.2, 0.4, 0.6, 0.8, 1.0)系列高熵合金,通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱分析仪(EDS)和维氏显微硬度计,探讨了不同Ti含量对VCrFeTixTa0.2系列高熵合金组织和硬度的影响。结果表明:5种高熵合金均包含BCC1相和BCC2相,BCC1相富集Cr和V两种元素,而BCC2相富集Fe、Ti和Ta三种元素。5种高熵合金经1000℃保温3 h,水冷淬火后,晶粒发生了明显细化。同时,BCC1相所占比例明显增加,元素分布更加均匀,更倾向于形成单一的固溶体结构。各试样的原子半径δ值随着Ti含量的增加而逐渐增大,硬度也随之增大。热处理后,由于发生了固溶强化,形成了更多的单相固溶体,使得高熵合金的硬度进一步提高。