摘要：能够在电热耦合严酷条件下安全运行的聚合物电介质薄膜电容器是许多关键领域的核心组件，但聚合物分子链间作用力小，与金属电极接触的界面容易形成缺陷，影响电容器的电气强度和可靠性。通过在有机物和金属之间构筑无机缓冲涂层，抑制界面缺陷，也是提升电容器整体性能的有效手段。本文对电介质薄膜表面无机涂层的构筑方法进行了总结，重点介绍了物理气相沉积法、化学气相沉积法、原子层沉积法和溶液自组装法，归纳了不同涂层技术的优缺点，特别是对性能的改善效果以及大规模应用的可行性。研究表明，涂层能够成功抑制聚合物-电极界面的电荷注入，使样品的击穿强度、充放电效率、储能密度、耐高温特性等明显提升。且与纳米颗粒涂层相比，二维片状材料构成的各向异性涂层效果更为突出。对二维涂层改性机理的分析表明，其不仅为电荷沿薄膜厚度方向的注入提供了屏障，也促进了电荷在纳米片界面的能量耗散，还有利于屏蔽局部工艺缺陷。
文章目录
0 引言
1 纳米颗粒涂层的构建方法
1.1 物理气相沉积法（PVD）
1.2 化学气相沉积法（CVD）
1.3 原子层沉积法（ALD）
2 二维纳米片涂层的构建方法
2.1 二维纳米涂层的制备方法
2.2 溶液自组装涂层对电气性能的提升
3 界面纳米涂层的改性机理
4 结论与展望
