电子洁净室中空气化学污染物会直接影响半导体产品的质量及良品率。化学过滤器的性能及其评价方法对有效控制电子洁净室中的空气化学污染物浓度至关重要。本文研究参考相关标准提供的空气净化装置性能试验方法对19台电子洁净室化学过滤器进行了性能测试,并分析了不同化学过滤器对酸、碱、VOC类空气化学污染物的净化性能。与质量容污量相比,以物摩尔容污量在评价同款双效化学过滤器处理不同污染物的使用寿命时效果更优。对某台化学过滤器分别进行了9×10-6、45×10-6、90×10-6不同体积分数下的甲苯净化性能测试,结果表明其容污量和持附力随加载浓度降低而下降。此外,同时考虑化学过滤器的净化性能和阻力性能,采用综合能效指标分别对酸、碱化学过滤器进行了性能比较。根据ISO提供的一般通风用空气净化装置的分级方法对电子洁净室化学过滤器的甲苯净化性能进行了分级,所测试化学过滤器均为中级（MD）,不能对其进行有效区分,未来需要针对此类特殊应用场景建立更精细的化学过滤器分级方法。
