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摘要：集成电路产业的迅猛发展使得光刻机超精密定位平台对运动定位精度和运动速度的要求越来越高。功率放大器作为光刻机超精密定位平台驱动环节的核心部件，其电流输出量相对于给定参考量的精度对于超精密定位平台的性能起着决定性的作用。由开关放大器和线性功率放大器(Linear Power Amplifier， LPA)结合而成的混合功率放大器(Hybrid Power Amplifier， HPA)兼具高效率与高输出线性度优势，契合超精密工件台高运动精度、高运动速度的驱动需求。针对HPA研究现状，首先分析各类型HPA的典型拓扑，其次对HPA的系统建模和控制方法进行总结，最后基于光刻机高精度工件台驱动的应用背景，从功率器件相关失真抑制、死区效应的抑制与消除、HPA控制方法优化三个方面提出高精度HPA的优化思路，并对所提出的部分优化方法进行仿真验证。
文章目录
引言
1 HPA的分类及拓扑衍生规律
1.1 串联HPA的拓扑及其特性
1.2 并联HPA的拓扑及其特性
1.3 包络跟踪HPA的拓扑及其特性
1.4 不同种类HPA拓扑特点及研究问题总结
2 HPA建模与分析方法
3 HPA控制方法
3.1 串联HPA的控制方法
3.2 并联HPA的控制方法
3.3 包络跟踪HPA的控制方法
3.4 HPA控制方法研究现状以及现有问题总结
4 针对高精度HPA的优化方法
4.1 功率器件相关失真抑制
4.2 拓扑层面死区效应的补偿与消除
4.3 HPA控制方法优化
4.4 高精度HPA优化方案仿真验证
5 结论
