基于相位掩模板法二阶光栅刻写及传感特性研究

2025-05-29 60 1.26M 0

  为将光纤光栅传感系统的工作波段拓展至硅基探测器适用的近红外波段,采用1 550 nm波段的相位掩模板进行780 nm波段的二阶光栅刻写研究。首先,分析了二阶光栅的成栅机理,并搭建紫外激光-相位掩模的刻写系统制备了二阶光栅。研究结果表明,二阶光栅的中心波长与一阶中心波长呈近似二倍关系,并且二阶波长的带宽较窄。随后,利用刻写的光栅封装了应变传感器和温度传感器,并系统研究了其温度和应变特性。结果表明,二阶波长的温度灵敏度和应变灵敏度分别为5.52 pm/℃和0.61 pm/με,约为一阶波长灵敏度的一半。本研究为拓展光纤传感的工作波长范围及硅基探测器的应用提供了技术支持。



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