摘要：【目的】提高BK7玻璃的透过率和防雾性能。【方法】在利用TFCalc光学薄膜设计软件分析厚度对光学性质影响的基础上，采用酸催化溶胶-凝胶法在BK7玻璃表面制备了SiO2减反射膜。通过X射线衍射仪（XRD）表征了SiO2的相结构，采用扫描电子显微镜（SEM）和白光干涉仪表征了SiO2薄膜表面形貌和粗糙度；采用紫外-可见-近红外分光光度计测试了SiO2薄膜不同入射角（0°、15°和30°）的透过率；通过接触角测试仪测试了SiO2薄膜的接触角，记录了接触角随固-液接触时间的变化，分析了薄膜的润湿性；通过自制防雾测试装置，评价了SiO2薄膜的防雾性能。【结果】酸催化溶胶-凝胶法制备的SiO2为非晶相，在BK7玻璃表面制备的SiO2薄膜均匀、无裂纹，与未镀膜玻璃相比，制备SiO2薄膜后，表面粗糙度显著增大。不同厚度的SiO2薄膜均具有减反射性能，其中，入射角为0°时，波长在380～1 100 nm范围内，采用提拉速度3 cm/min制备的SiO2薄膜平均透过率为93.39%，高于未镀膜玻璃1.62%；当入射角增加到30°时，镀膜前后BK7玻璃的透过率均下降，但采用提拉速度3 cm/min制备的SiO2薄膜平均透过率为90.89%，比未镀膜玻璃的高2.42%。制备SiO2薄膜后，BK7玻璃表面由亲水性（水接触角约47°）转变为超亲水性（水接触角约3°）。防雾性能测试表明，BK7玻璃表面制备超亲水SiO2薄膜后，水蒸气冷凝形成的小液滴能够快速铺展开，具有较好的防雾性能。【结论】在玻璃表面采用酸催化溶胶-凝胶法制备SiO2薄膜，能够实现减反射防雾性能，在光电子器件和光伏设备中具有潜在的应用价值。
