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摘要：玻璃覆晶封装技术是液晶显示器生产过程中的核心技术，主要采用热固性固化胶和若干导电颗粒组成各向异性导电胶膜倒装实现互连。互连电阻作为评估材料选择与工艺参数的重要评估指标，本文旨在建立芯片互连电阻仿真体系以及探究相同导电颗粒分布下芯片封装的最优工艺参数。首先通过大量实验获取采用CP6530ID型号各向异性导电胶膜的芯片在不同工艺参数下的凸点互连电阻以及凸点捕捉到的导电颗粒数目，并对实验数据进行统计分析。其次数值模拟实验中为模拟键合温度与压力的耦合方式，采用“顺序热-力耦合”方法。在得到热力耦合场下CP6530ID型号各向异性导电胶膜中导电颗粒的形变量后，通过建立的导电颗粒互连电阻的数学模型算出芯片互连电阻，将互连电阻计算结果与实验结果对比，验证仿真结果的有效性以及对实验的指导意义。接着根据生产商索尼化学公司推荐的封装工艺参数范围作为优化起点，随机化导电颗粒分布情况进行仿真，以仿真结果为参考探究芯片封装的最优工艺参数。在以实现芯片有效封装的前提下，仿真结果显示键合温度190°C，键合压力100MPa时，芯片互连电阻最小。芯片封装过程中压力对互连电阻起决定性作用，温度对互连电阻的影响较为微弱。就压力因子而言，在不考虑导电颗粒压裂的情况下，压力越大，最后形成的互连电阻越小；温度越高，导电颗粒的热膨胀越剧烈导致互连电阻增大。
文章目录
1封装建模
1.1数值模型的假设与步骤
1.2 “顺序热-力耦合”模拟方法
2互连电阻数学模型
3数值模拟
3.1顺序热-力耦合
3.2互连电阻计算步骤
3.3实验验证
3.4工艺参数优化
4总结
