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摘要：法布里-珀罗(F-P)干涉仪多采用气体隙F-P腔结构，常受腔镜调节、稳定性、体积等因素的限制，为了解决上述问题，利用固体隙F-P腔结构进行了改进。基于多光束干涉理论对固体隙F-P干涉仪开展仿真研究，对各级次干涉条纹峰值位置和半峰全宽位置进行了求解，分析了固体隙F-P腔的腔长、反射率和介质折射率3个因素对固体隙F-P干涉仪的成像质量影响，并根据需求加工了一块16 mm厚的固体隙F-P腔样品。结果表明，1级条纹峰值位置偏差优于5个像素点，其他级次条纹偏差均优于2个像素点，两者吻合性较好。该工作初步验证了固体隙结构在干涉仪成像中的适用性和可扩展性，完成了固体隙F-P干涉仪的基础理论探索，并为固体隙F-P干涉仪的相关研发工作提供了参考。
文章目录
0引 言
1 理论与系统
1.1 多光束干涉理论
1.2 固体隙F-P干涉仪仿真模拟系统
2 固体隙F-P干涉仪成像影响因素
2.1 成像质量判定依据
2.2 成像质量影响因素理论分析
3固体隙F-P干涉仪仿真及分析
3.1 腔长的影响
3.2 腔镜反射率的影响
3.3固体隙F-P腔介质的影响
3.4 固体隙F-P腔样品检测与仿真结果比较
4结 论